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Shimadzu EPMA-1600電子探針X射線顯微分析儀+能譜儀
Shimadzu EPMA-1600 Electron Probe Microanalyzer
儀器名稱：電子探針X射線顯微分析儀+能譜儀
型 號：EPMA-1600+
生產(chǎn)廠家：日本島津公司
儀器簡介：日本島津公司的EPMA－1600型電子探針，由四道譜儀,、八塊分光晶體組成,。此儀器不僅有較高的X射線檢出角,，同時由于使用全聚焦的X射線分光晶體,，能兼顧X射線檢測的高靈敏度和高分辨率,，并配有高穩(wěn)定的電子光學(xué)系統(tǒng),，真空系統(tǒng)及高精度機械系統(tǒng)以及牛津X-射線電制冷能譜儀,，是目前最先進的微區(qū)成分定量分析和形貌觀察的大型科研儀器之一,。
上面配有牛津OXFORD-INCA能譜儀
儀器主要特點及技術(shù)指標(biāo)：
l 分析元素范圍： 4Be～94Pu 電子束流穩(wěn)定性：好于1.5×10-3/H
l 二次電子像分辨率：6nm 加速電壓：0~30kV X射線檢出角：52.5°
l 放大倍數(shù)：50×～300,000× 分析速度：自動全元素定性分析時間≤60s
l 最大樣品尺寸：100mm′100mm′50mm 樣品臺最小移動間距為0.01微米,，機械系統(tǒng)精密度高
l 可觀察二次電子像（SEI)，背散射電子像(BEI),，吸收電子像,，光學(xué)顯微像，X射線面分布像等,。兼顧微區(qū)成分定量分析和形貌觀察
儀器主要功能及其用途：
l 非破壞分析（分析時,，被分析樣品不會損壞，可以實現(xiàn)同點重復(fù)分析）,、精細結(jié)構(gòu)分析,、能譜分析
l 微米尺度的空間分辨分析、輕元素的定量分析,、元素的面分布分析,、痕量元素的成分定量分析
l 適用于材料(陶瓷，合金,，半導(dǎo)體材料等）以及礦物,、巖石等固體材料的微區(qū)化學(xué)組成定性和定量分析，微區(qū)化學(xué)組成線分析,，微區(qū)化學(xué)組成面分析以及材料,、礦物和巖石等的微區(qū)形貌觀察、成分分布圖像等,，是對試樣微區(qū)組織結(jié)構(gòu),，表面形貌觀察及元素微區(qū)定量分析的最有效手段。
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