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SUPRA??55熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

SUPRA? 55熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

SUPRA? 55 Thermal Field Emission Scanning Electron Microscopy

儀器名稱：熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

型       號(hào)：SUPRA? 55

生產(chǎn)廠家：德國(guó)蔡司公司

儀器簡(jiǎn)介：


儀器主要特點(diǎn)及技術(shù)指標(biāo)：

1、肖特基(Schottky)場(chǎng)發(fā)射電子源，具有較大的發(fā)射電流和極高的穩(wěn)定性

2、采用專利技術(shù) GEMINI 鏡筒，克服傳統(tǒng)單極物鏡光闌設(shè)計(jì)缺點(diǎn)，消除磁性影響，同時(shí)采用無(wú)交叉光路設(shè)計(jì)，提高了儀器的主要性能

3、采用 Beam booster（電子束加速器），以得到極好的低加速電壓性能

4、環(huán)形高效 In-lens SE 探測(cè)器，具有良好的分辨率和對(duì)稱性

5、電磁/靜電式復(fù)合物鏡，可對(duì)磁性物質(zhì)進(jìn)行高分辨成像

6、分辨率：1.0nm @ 15kV；  1.7nm @ 1kV；  4.0nm @ 0.1kV

7、放大倍數(shù)：12 ~ 900,000x

8、加速電壓：0.1 ~ 30kV

9、可分析元素范圍：4Be～94Pu

10、二次電子形貌（SEI）、背反射成分像/形貌像（BEI）、吸收電子圖象、能譜成份圖象分析

儀器主要功能及其用途：

1、金屬、非金屬及復(fù)合材料、生物樣品表面形貌、組織結(jié)構(gòu)的觀察分析及圖象處理

2、納米材料：納米粉及納米粉體的形貌觀察和粒度測(cè)量分析

3、微區(qū)成分的定性、定量分析，并對(duì)重點(diǎn)區(qū)域做元素分布圖

4、顆粒樣品粒徑、面積、周長(zhǎng)、圓度的測(cè)量，提供粒度分布圖，并可對(duì)孔徑樣品做孔徑分布直方圖、餅圖

5、可對(duì)固體材料的表面涂層、鍍層進(jìn)行結(jié)合情況觀察和厚度測(cè)量

6、廣泛用于冶金、生物、建筑、機(jī)械等行業(yè)的材料形貌觀察及元素成分分析，如金屬、半導(dǎo)體、陶瓷、高分子材料、有機(jī)聚合物等。本電鏡配備有牛津X射線能譜分析儀。

掃描電鏡照片應(yīng)用舉例: