SUPRA? 55熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡
SUPRA? 55 Thermal Field Emission Scanning Electron Microscopy
儀器名稱:熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡
型 號(hào):SUPRA? 55
生產(chǎn)廠家:德國(guó)蔡司公司
儀器簡(jiǎn)介:
儀器主要特點(diǎn)及技術(shù)指標(biāo):
1,、肖特基(Schottky)場(chǎng)發(fā)射電子源,,具有較大的發(fā)射電流和極高的穩(wěn)定性
2,、采用專利技術(shù) GEMINI 鏡筒,,克服傳統(tǒng)單極物鏡光闌設(shè)計(jì)缺點(diǎn),,消除磁性影響,,同時(shí)采用無(wú)交叉光路設(shè)計(jì),,提高了儀器的主要性能
3,、采用 Beam booster(電子束加速器),,以得到極好的低加速電壓性能
4,、環(huán)形高效 In-lens SE 探測(cè)器,具有良好的分辨率和對(duì)稱性
5、電磁/靜電式復(fù)合物鏡,,可對(duì)磁性物質(zhì)進(jìn)行高分辨成像
6,、分辨率:1.0nm @ 15kV; 1.7nm @ 1kV,; 4.0nm @ 0.1kV
7,、放大倍數(shù):12 ~ 900,000x
8、加速電壓:0.1 ~ 30kV
9,、可分析元素范圍:4Be~94Pu
10,、二次電子形貌(SEI)、背反射成分像/形貌像(BEI),、吸收電子圖象,、能譜成份圖象分析
儀器主要功能及其用途:
1、金屬,、非金屬及復(fù)合材料,、生物樣品表面形貌、組織結(jié)構(gòu)的觀察分析及圖象處理
2,、納米材料:納米粉及納米粉體的形貌觀察和粒度測(cè)量分析
3,、微區(qū)成分的定性、定量分析,,并對(duì)重點(diǎn)區(qū)域做元素分布圖
4,、顆粒樣品粒徑、面積,、周長(zhǎng),、圓度的測(cè)量,提供粒度分布圖,,并可對(duì)孔徑樣品做孔徑分布直方圖,、餅圖
5、可對(duì)固體材料的表面涂層,、鍍層進(jìn)行結(jié)合情況觀察和厚度測(cè)量
6,、廣泛用于冶金、生物,、建筑,、機(jī)械等行業(yè)的材料形貌觀察及元素成分分析,如金屬,、半導(dǎo)體,、陶瓷、高分子材料,、有機(jī)聚合物等,。本電鏡配備有牛津X射線能譜分析儀,。
掃描電鏡照片應(yīng)用舉例: