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SUPRA? 55熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡
SUPRA? 55 Thermal Field Emission Scanning Electron Microscopy
儀器名稱：熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡
型 號：SUPRA? 55
生產(chǎn)廠家：德國蔡司公司
儀器簡介：
儀器主要特點及技術(shù)指標：
1,、肖特基(Schottky)場發(fā)射電子源，具有較大的發(fā)射電流和極高的穩(wěn)定性
2,、采用專利技術(shù) GEMINI 鏡筒,，克服傳統(tǒng)單極物鏡光闌設(shè)計缺點,，消除磁性影響，同時采用無交叉光路設(shè)計,，提高了儀器的主要性能
3,、采用 Beam booster（電子束加速器），以得到極好的低加速電壓性能
4,、環(huán)形高效 In-lens SE 探測器,，具有良好的分辨率和對稱性
5、電磁/靜電式復(fù)合物鏡,，可對磁性物質(zhì)進行高分辨成像
6,、分辨率：1.0nm @ 15kV； 1.7nm @ 1kV,； 4.0nm @ 0.1kV
7,、放大倍數(shù)：12 ~ 900,000x
8、加速電壓：0.1 ~ 30kV
9,、可分析元素范圍：4Be～94Pu
10,、二次電子形貌（SEI）、背反射成分像/形貌像（BEI）,、吸收電子圖象,、能譜成份圖象分析
儀器主要功能及其用途：
1,、金屬、非金屬及復(fù)合材料,、生物樣品表面形貌,、組織結(jié)構(gòu)的觀察分析及圖象處理
2、納米材料：納米粉及納米粉體的形貌觀察和粒度測量分析
3,、微區(qū)成分的定性,、定量分析，并對重點區(qū)域做元素分布圖
4,、顆粒樣品粒徑,、面積、周長,、圓度的測量,，提供粒度分布圖，并可對孔徑樣品做孔徑分布直方圖,、餅圖
5,、可對固體材料的表面涂層、鍍層進行結(jié)合情況觀察和厚度測量
6,、廣泛用于冶金,、生物、建筑,、機械等行業(yè)的材料形貌觀察及元素成分分析,，如金屬、半導(dǎo)體,、陶瓷,、高分子材料、有機聚合物等,。本電鏡配備有牛津X射線能譜分析儀,。
掃描電鏡照片應(yīng)用舉例:
